Die Öfen der Baureihe RD überzeugen durch ihr unschlagbares Preis-/Leistungsverhältnis, besonders kompakte Außenabmessungen und ihr geringes Gewicht. Diese Allrounder sind mit einem Arbeitsrohr ausgestattet, welches gleichzeitig als Träger der Heizdrähte dient. Das Arbeitsrohr stellt somit einen Bestandteil der Ofenheizung dar mit dem Vorteil, dass die Öfen sehr hohe Aufheizgeschwindigkeiten erreichen. Die Öfen sind für 1100 °C oder 1300 °C lieferbar. Alle Modelle sind für den horizontalen Einsatz konzipiert. Sofern kundenseitig eine Schutzgasatmosphäre gewünscht wird, sollte ein separates Arbeitsrohr, z.B. aus Quarzglas, in das Arbeitrohr eingelegt werden.

• Tmax 1100 °C oder 1300 °C
• Gehäuse aus Edelstahl-Strukturblechen
• Rohraußendurchmesser von 15 mm oder 30 mm, beheizte Länge von 150 mm oder 200 mm
• Arbeitsrohr aus Material C 530 inkl. zwei Faserstopfen als Standard
• Thermoelement Typ K (1100 °C) oder Typ S (1300 °C)
• Geräuscharmer Betrieb der Heizung mit Halbleiterrelais
• Heizdrähte direkt um das Arbeitsrohr gewickelt, dadurch sehr schnelle Aufheizzeiten

Zusatzausstattung

• Temperaturwählbegrenzer mit einstellbarer Abschalttemperatur für thermische Schutzklasse 2 gem. EN 60519-2 als Übertemperaturschutz für den Ofen und die Ware
• Zusätzliches Arbeitsrohr, eingelegt in das integrierte Rohr, z.B. zum Betrieb unter Schutzgas
• Begasungspaket zum Betrieb unter Schutzgas oder im Vakuum
• Ausführung als Thermoelement-Prüfofen

Diese kompakten Tisch-Rohröfen mit integrierter Schalt- und Regelanlage lassen sich für viele Prozesse universal einsetzen. Standardmäßig mit Arbeitsrohr aus Material C 530 und zwei Faserstopfen ausgestattet, überzeugen diese Öfen durch ein unschlagbares Preis-/Leistungsverhältnis.

• Tmax 1200 °C oder 1300 °C
• Gehäuse aus Edelstahl-Strukturblechen
• Rohraußendurchmesser von 50 bis 120 mm, beheizte Längen von 250 bis 1000 mm
• Arbeitsrohr aus Material C 530 inkl. zwei Faserstopfen als Standard
• Thermoelement Typ S
• Geräuscharmer Betrieb der Heizung mit Halbleiterrelais

Zusatzausstattung

• Temperaturwählbegrenzer mit einstellbarer Abschalttemperatur für thermische Schutzklasse 2 gem. EN 60519-2 als Übertemperaturschutz für den Ofen und die Ware
• Chargenregelung mit Temperaturmessung im Arbeitsrohr und im Ofenraum hinter dem Rohr
• Dreizonige Ausführung mit HiProSystem-Regelung (ab 750 mm beheizter Länge, bei 1300 °C-Modellen)
• Alternative Begasungspakete für Schutzgas- und Vakuumbetrieb
• Prozesssteuerung und Dokumentation über Controltherm MV-Softwarepaket

Diese kompakten Rohröfen kommen dann zum Einsatz, wenn Laborversuche horizontal, vertikal oder in bestimmten Winkeln durchgeführt werden sollen. Durch die variable Einstellung des Neigungswinkels und der Arbeitshöhe und die kompakte Bauform eignen sich die Öfen auch für die Integration in bestehende Prozessanlagen.

• Tmax 1100 °C, 1300 °C oder 1500 °C
• Kompakter Aufbau
• Vertikal- oder Horizontalbetrieb frei einstellbar
• Arbeitshöhe frei einstellbar
• Arbeitsrohr aus Material C 530
• Thermoelement Typ S
• Betrieb auch losgelöst vom Stativ unter Berücksichtigung der Sicherheitsvorschriften möglich
• Schaltanlage mit Controller im Ofenunterteil eingebaut

Diese kompakten Rohröfen mit SiC-Stabbeheizung sowie integrierter Schaltanlage mit Controller sind universell einsetzbar für viele Prozesse. Ein leicht auszuwechselndes Arbeitsrohr sowie die serienmäßig vorhandene Montagemöglichkeit von Zubehör machen sie flexibel einsetzbar für einen weiten Anwendungsbereich. Die hochwertige Faserisolierung ermöglicht kurze Aufheiz- und Abkühlzeiten, während die parallel zum Arbeitsrohr angeordneten SiC-Heizstäbe eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit garantieren. Unschlagbar ist das Preis-/Leistungsverhältnis in diesem Temperaturbereich.

• Tmax 1500 °C
• Gehäuse aus Edelstahl Strukturblechen
• Hochwertige Faserisolierung
• Aktive Gehäusekühlung für niedrige Oberflächentemperaturen
• Thermoelement Typ S
• Geräuscharmer Betrieb der Heizung mit Halbleiterrelais
• Vorbereitet für die Montage von Arbeitsrohren mit wassergekühlten Flanschen
• Keramikrohr in Qualität C 799

Zusatzausstattung

• Temperaturwählbegrenzer mit einstellbarer Abschalttemperatur für thermische Schutzklasse 2 gem. EN 60519-2 als Übertemperaturschutz für den Ofen und die Ware
• Chargenregelung mit Temperaturmessung im Arbeitsrohr und im Ofenraum hinter dem Rohr
• Faserstopfen
• Rückschlagventil am Gasauslass verhindert Eindringen von Falschluft
• Arbeitsrohre für den Betrieb mit wassergekühlten Flanschen
• Anzeige der Temperatur im Arbeitsrohr mit zusätzlichem Thermoelement
• Alternative Begasungspakete für Schutzgas- und Vakuumbetrieb

Die Rohröfen RS sind sowohl für den horizontalen als auch für den vertikalen Betrieb einsetzbar. Unter Einsatz von vielfältigem Zubehör lassen sich diese Profi-Rohröfen optimal für Ihren Prozess auslegen. Durch die Aufrüstung mit verschiedenen lieferbaren Begasungspaketen kann unter Schutzgasatmosphäre, Vakuum oder sogar mit brennbaren Gasen gearbeitet werden.

• Tmax 1100 °C oder 1300 °C
• Gehäuse aus Edelstahl-Strukturblechen
• Tmax 1100 °C: Thermoelement Typ K
• Tmax 1300 °C: Thermoelement Typ S
• Für den vertikalen Betrieb mit zusätzlichem Vertikalgestell, spätere Nachrüstung möglich
• Aufklappbare Ausführung für einfaches Einlegen des Arbeitsrohres
• Arbeitsrohr aus Material C 530 zum Betrieb an Luft im Lieferumfang enthalten
• Vom Ofen getrennte Schaltanlage mit Controller im separaten Wand- oder Standschrank

Die Rohrofen-Serie RS kann mit diversen Extras genau auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten werden. Angefangen von diversen Arbeitsrohren unterschiedlicher Materialart bis hin zum Schutzgas- oder Vakuumbetrieb. Für eine optimale Temperaturgleichmäßigkeit sind alle RS-Öfen auch als Drei-Zonen-Rohrofen mit moderner SPS-Steuerung lieferbar. Der Wärmeverlust an den Rohrenden wird durch diese dreizonige Regelung ausgeglichen, und es entsteht eine verlängerte uniforme Zone.

Zusatzausstattung

• Chargenregelung mit Temperaturmessung im Arbeitsrohr und im Ofenraum hinter dem Rohr
• Arbeitsrohre, ausgelegt für die Prozessanforderungen
• Anzeige der Temperatur im Arbeitsrohr mit zusätzlichem Thermoelement
• Verschiedene Begasungspakete (Seite 44) für Schutzgas- und Vakuumbetrieb
• Dreizonige Ausführung zur Optimierung der Temperaturgleichmäßigkeit
• Rückschlagventil am Gasauslass verhindert Eindringen von Falschluft
• Keramikhalbschale zum Schutz der Heizelemente oder als Auflagefläche für die Chargen
• Optische Temperaturmessung zur Nutzung als Durchziehofen
• Stativ für Vertikalbetrieb
• Untergestell mit integrierter Schaltanlage und Controller

Wenn z. B. die Erhaltung der Einzelkorncharakteristik des Materials im Vordergrund steht, wie beim Trocknen oder Kalzinieren, sind die Drehrohröfen der Baureihe RSR die optimale Lösung. Die permanente Rotation des Arbeitsrohres sorgt dafür, dass die Charge ständig in Bewegung bleibt.

Grundsätzlich lassen sich diese Modelle für den kontinuierlichen Prozess und/oder den Batchbetrieb ausführen. In Abhängigkeit von Prozess, Charge und geforderter Maximaltemperatur kommen unterschiedliche Arbeitsrohre aus Quarzglas, Keramik oder Metall zum Einsatz.

Je nach Anwendung lassen sich diese Modelle durch Ergänzung von sinnvollem Zubehör wie z.B. Einfülltrichter, elektrischer Förderschnecke für die Materialzuführung oder Begasungssystemen zur kleinen Produktionsanlage aufrüsten. Der Betrieb kann an Luft, unter Schutzgas oder sogar im Vakuum erfolgen. Die hierfür notwendige Ausstattung ist ebenfalls als Zusatzausstattung lieferbar.

Standardausführung alle Modelle

• Gehäuse aus Edelstahl-Strukturblechen in rostfreier Ausführung
• Sehr einfache Entnahme des Arbeitsrohres bzw. Reaktors durch riemenlosen Antrieb und aufklappbares Ofengehäuse
• Stufenlos regelbarer Antrieb von ca. 1-20 U/min

Zusatzausstattung alle Modelle

• Andere Rohrdurchmesser oder beheizte Längen
• Manuelle oder automatische Begasungssysteme
• Gasdichte Drehdurchführung zum Anschluss an Begasungssysteme
• Rückschlagventil am Gasauslass verhindert Eindringen von Falschluft
• Dreizonige Regelung zur Optimierung der Temperaturgleichmäßigkeit
• Anzeige der Temperatur im Arbeitsrohr mit Messung über zusätzliches Thermoelement
• Chargenregelung über zusätzliches Thermoelement im Arbeitsrohr

Standardausführung für den Batchbetrieb

• Tmax 1100 °C
• Thermoelement Typ K
• Ofen ausgeführt als Tischmodell mit beidseitig offenem Quarzglasreaktor
• Reaktor wird zum Entleeren aus dem Ofen entnommen

Zusatzausstattung für den Batchbetrieb

• Unterschiedliche Begasungssysteme
• Vakuumausführung, je nach eingesetzter Pumpe bis 10-2 mbar
• Beidseitig offener Reaktor aus Quarzglas mit Noppen zur besseren Bewegung der Charge im Rohr
• Paket zur vereinfachten Chargierung und Entladung des Arbeitsrohres in folgender Ausführung:
  • Einseitig geschlossener Reaktor aus Quarzglas oder Edelstahl 1.4841 mit integrierter Schaufel zur besseren Durchmischung der Charge
  • Links/Rechts-Kippmechanismus. Zum Befüllen und für die Wärmebehandlung wird der Ofen nach rechts an den Anschlag gekippt, so dass die Charge in den Ofen hineinbefördert wird. Zum Entleeren wird der Ofen zur anderen Seite geschwenkt, um das Pulver wieder aus dem Reaktor herauszufördern.
  • Entnahme des Reaktors nicht mehr notwendig
  • Ofen auf Untergestell montiert
  • Untergestell auf Rollen laufend
• Gestell mit manueller Spindel zur Einstellung des Neigungswinkels beim Befüllen, während der Wärmebehandlung und zum Entleeren des Rohres
• Digitales Anzeigegerät für den Neigungswinkel des Ofens

Standardausführung für kontinuierliche Prozesse

• Tmax 1100 °C
  • Thermoelement Typ K
  • Beidseitig offenes Arbeitsrohr aus Quarzglas
• Tmax 1300 °C
  • Thermoelement Typ S
  • Beidseitig offenes Arbeitsrohr aus Keramik C 530, nicht gasdicht
• Kompakte Ausführung mit Schaltanlage und Controller, eingebaut im Unterbau, inkl. Transportrollen
• Ofen auf Untergestell montiert inkl. manuellem Spindelantrieb mit Kurbel zur Voreinstellung des Neigungswinkels
• Untergestell auf Rollen laufend

Zusatzausstattung für kontinuierliche Prozesse

• Arbeitsrohr aus Quarzglas mit Noppen für optimierten Transport der Charge bis Tmax 1100 °C
• Gasdichtes Arbeitsrohr aus Keramik C 610 bis Tmax 1300 °C
• Unterschiedliche Begasungssysteme mit guter Umspülung der Charge mit Prozessgas durch Eintritt auf der einen und Austritt auf der anderen Rohrseite (nur in Verbindung mit elektrisch angetriebener Förderschnecke s.u.)
• Einfülltrichter aus Edelstahl mit verschließbarem Pulverauslass, als Zusatzausstattung auch in gasdichter Ausführung
• Elektrischer Vibrationsgenerator am Einfülltrichter zur Optimierung der Materialzuführung in das Arbeitsrohr
• Elektrisch angetriebene Förderschnecke am Einlass des Arbeitsrohres mit Steigung von 20 mm und einstellbarer Drehzahl zwischen 0,28 und 6 Umdrehungen/Minute
  • Förderschnecke mit angepasster Steigung zur Anpassung an die Charge auf Wunsch
  • Getriebeunter- oder übersetzungen für andere Drehzahlbereiche auf Wunsch
• Entnahmeschaufel im Auslassbereich des Arbeitsrohres
• Auffangflasche aus Laborglas am Auslass des Arbeitsrohres
• Digitales Anzeigegerät für den Neigungswinkel des Ofens
• Elektrischer Linearantrieb zur Verstellung des Neigungswinkels
• Wechselausführung für kontinuierliche Prozesse oder Batchbetrieb. Der Ofen lässt sich auf dem Gestell in beide Richtungen kippen. Kundenseitig kann sowohl ein beidseitig offenes Arbeitsrohr für Durchlaufprozesse als auch ein einseitig geschlossener Prozessreaktor (Tmax 1100 °C) für den Batchbetrieb eingelegt werden.
• SPS-Regelung für die Temperaturführung und die Steuerung der angeschlossenen Aggregate, wie z.B. Schaltung und Geschwindigkeit der Förderschnecke, Drehzahl des Arbeitsrohres, Schaltung des Vibrationsgenerators, etc..

Die Hochtemperatur-Rohröfen sind sowohl horizontal (Typ RHTH) als auch vertikal (Typ RHTV) lieferbar. Hochwertige Isoliermaterialien aus vakuumgeformten Faserplatten ermöglichen energiesparenden Betrieb und hohe Aufheizzeit auf Grund geringer Speicherwärme und Wärmeleitfähigkeit. Durch die Aufrüstung mit verschiedenen Begasungspaketen kann unter Schutzgasatmosphäre, Vakuum oder sogar mit brennbaren Gasen gearbeitet werden.

• Tmax 1600 °C, 1700 °C oder 1800 °C
• MoSi2-Heizelemente, hängend angeordnet und leicht zu wechseln
• Isolierung aus vakuumgeformten, keramischen Faserplatten
• Rechteckiges Außengehäuse mit Schlitzen zur Konvektionskühlung
• Modelle RHTV mit Wandhalterung
• Gehäuse aus Edelstahl-Strukturblechen
• Keramikarbeitsrohr aus Material C 799 inkl. Faserstopfen zum Betrieb an Luft im Lieferumfang enthalten
• Thermoelement Typ B
• Leistungseinheit mit Niederspannungstrafo und Thyristor
• Temperaturwählbegrenzer mit einstellbarer Abschalttemperatur für thermische Schutzklasse 2 gem. EN 60519-2 als Übertemperaturschutz für den Ofen und die Ware und mit einstellbarem maximalen Temperaturgradienten als Schutz des Rohres
• Vom Ofen getrennte Schaltanlage mit Controller im separaten Standschrank

Zusatzausstattung

• Chargenregelung mit Temperaturmessung im Arbeitsrohr und im Ofenraum hinter dem Rohr
• Arbeitsrohre, ausgelegt für die Prozessanforderungen
• Anzeige der Temperatur im Arbeitsrohr mit zusätzlichem Thermoelement
• Gasdichte Flansche für Schutzgas- und Vakuumbetrieb
• Manuelles oder automatisches Begasungssystem
• Drei- oder fünfzonige Ausführung zur Optimierung der Temperaturgleichmäßigkeit
• Rückschlagventil am Gasauslass verhindert Eindringen von Falschluft
• Stativ für Vertikalbetrieb

Ofenraumregelung
mit Temperaturmessung im Ofenraum außerhalb des Arbeitsrohres.

• Vorteile: Thermoelement vor Beschädigung und aggressivem Gut geschützt, sehr gleichmäßige Regelung, preisgünstig
• Nachteil: Prozessabhängige Temperaturdifferenz zwischen angezeigter Temperatur am Controller und Rohrinneren

Erweiterungspaket für Ofenraumregelung

• mit zusätzlicher Temperaturmessung im Arbeitsrohr und Anzeige der Temperatur

Chargenregelung
mit Temperaturmessung sowohl im Ofenraum außerhalb des Arbeitsrohres als auch im Rohr bzw. an der Charge.

• Vorteile: Sehr genaue und schnelle Ausregelung
• Nachteil: Kosten

Nur die Ofenraumtemperatur wird gemessen und ausgeregelt. Zum Vermeiden von Überschwingern erfolgt die Regelung langsam. Da die Chargentemperatur hierbei nicht gemessen und ausgeregelt wird, weicht diese von der Ofenraumtemperatur um einige Grad ab.

Bei eingeschalteter Chargenregelung wird sowohl die Chargentemperatur als auch die Ofenraumtemperatur geregelt. Mithilfe unterschiedlicher Parameter können die Aufheiz- und Kühlprozesse individuell angepasst werden. Dadurch wird eine wesentlich genauere Temperaturregelung an der Charge erreicht.

Durch die Aufrüstung mit unterschiedlichen Ausstattungspaketen können die Rohrofenserien RS, RHTC, RHTH und RHTV für den Betrieb mit nichtbrennbaren oder brennbaren Gasen bzw. für den Vakuumbetrieb aufgerüstet werden. Die verschiedenen Ausstattungspakete können zusammen mit dem Ofen, aber auch nachträglich geliefert werden.

Dieses Paket stellt eine für viele Anwendungen ausreichende Basisversion zum Betrieb mit nichtbrennbaren Schutzgasen dar. Das mit dem Ofen gelieferte Standardarbeitsrohr kann weiter verwendet werden.

• Standardarbeitsrohr kann verwendet werden
• 2 Stopfen aus Keramikfaser mit Schutzgasanschlüssen
• Begasungssystem für nicht brennbares Schutzgas (Ar, N2, Formiergas) mit Absperrhahn und Durchflussmesser mit Regelventil (Volumenstrom 50 - 500 l/h), anschlussfertig verrohrt (Gaseingangsdruck 300 mbar ist kundenseitig bereitzustellen)

Zusatzausstattung

• Erweiterung des Begasungssystems um eine zweite bzw. dritte nicht brennbare Gasart
• Flaschendruckminderer für Begasung über Gasflaschen
• Reglergesteuerte Begasung mit zusätzlichen Magnetventilen auf dem Begasungssystem, die über einen Controller mit programmierbaren Extrafunktionen ein- bzw. ausgeschaltet werden können (z.B. P 330)

Bei erhöhten Anforderungen an die Reinheit der Atmosphäre im Arbeitsrohr empfehlen wir dieses Begasungspaket. Das Standardarbeitsrohr wird ersetzt durch ein dichtes Arbeitsrohr aus Material C 610 oder C 799 in gasdichter Ausführung. Zum Lieferumfang gehören neben dem verlängerten Arbeitsrohr auch gasdichte Flansche und eine entsprechende Haltevorrichtung am Ofen. Das System ist zudem aufrüstbar für den Vakuumbetrieb.

• Verlängertes, gasdichtes Arbeitsrohr aus Material C 610 für Öfen bis 1300 °C bzw. aus C 799 für Temperaturen oberhalb von 1300 °C
• 2 vakuumdichte, wassergekühlte Edelstahlflansche mit KF-Flansch auslassseitig (Kühlwasserversorgung mit Schlauchanschluss NW9 ist kundenseitig zu stellen)
• Haltevorrichtung am Ofen für die Flansche
• Begasungssystem für nicht brennbares Schutzgas (Ar, N2, Formiergas) mit Absperrhahn und Durchflussmesser mit Regelventil (Volumenstrom 50 - 500 l/h), Gasauslassventil, anschlussfertig verrohrt (Gaseingangsdruck 300 mbar ist kundenseitig bereitzustellen)

Zusatzausstattung

• Erweiterung des Begasungssystems um eine zweite bzw. dritte nicht brennbare Gasart
• Flaschendruckminderer für Begasung über Gasflaschen
• Reglergesteuerte Begasung mit zusätzlichen Magnetventilen auf dem Begasungssystem, die über einen Controller mit programmierbaren Extrafunktionen ein- bzw. ausgeschaltet werden können (z.B. P 330)
• Wassergekühlte Endflansche mit Schnellverschlüssen
• Kühlstation für geschlossenen Wasserkreislauf
• Sichtfenster zur Beobachtung der Charge bei Einsatz von gasdichten Flanschen

Vakuumbetrieb

• Vakuumpaket zum Evakuieren des Arbeitsrohres, bestehend aus Zwischenstück für den Gasauslass, 1 Kugelhahn, Manometer, 1-stufige, manuell zu bedienende Drehschieber-Vakuumpumpe mit Edelstahlwellschlauch am Gasauslass angeschlossen, max. erreichbarer Enddruck im Arbeitsrohr ca. 10-2 mbar
• Alternative Pumpen für einen max. Enddruck von bis zu 10-5 mbar auf Anfrage

Durch die Ausstattung des Rohrofens mit dem Begasungspaket 3 ist der Betrieb unter Wasserstoffatmosphäre möglich. Beim Wasserstoffbetrieb wird ein Sicherheitsüberdruck im Arbeitsrohr von ca. 30 mbar sicher gestellt. Überschüssiger Wasserstoff wird in einer Abgasfackel abgebrannt. Die Inertisierung des Arbeitsraums vor Prozessstart, nach Prozessende und im Fehlerfall wird von Hand durch den Bediener vorgenommen.

• Sicherheitstechnik zum Betrieb mit brennbaren Gasen einschließlich der Überwachung der Fackelfunktion und Rohrbruchüberwachung durch Überdruck
• Verlängertes, gasdichtes Arbeitsrohr
• 2 vakuumdichte, wassergekühlte Edelstahlflansche (Kühlwasserversorgung kundenseitig über Schlauchanschluss)
• Abgasfackel
• Druckschalter zur Überwachung des Sicherheitsüberdrucks
• Begasungssystem für H2 und N2. Die Mengeneinstellung erfolgt von Hand (Kundenseitig ist eine H2-Versorgung mit 1 bar, eine N2-Versorgung mit 10 bar, eine Luft-Versorgung mit 6-8 bar und eine Propan-Versorgung mit 300 mbar bereitzustellen)

Durch Einsatz von erweiterter Sicherheitslogik mit integriertem Stickstoff-Notspülbehälter kann die Anlage für den vollautomatischen, unbeaufsichtigten Betrieb genutzt werden. Ausgestattet mit Sicherheits-SPS-Steuerung werden Vorspülen, Wasserstoffeinleitung, Betrieb, Fehlerüberwachung und Spülen am Prozessende automatisch ausgeführt. Im Fehlerfall wird das Rohr sofort mit Stickstoff gespült und die Anlage automatisch in einen sicheren Zustand versetzt.

Ausstattung zusätzlich zu Paket 3

• Erweiterte Sicherheitssteuerung mit Notspülung des Rohres im Fehlerfall
• Notspülbehälter
• Steuerung über Sicherheits-SPS mit Touchpanel zur Dateneingabe

Zusatzausstattung für Pakete 3 - 4

• Vereinfachte Sicherheitstechnik für den Betrieb mit Einleitung von Wasserstoff ausschließlich oberhalb von 800 °C
  • Rohröffnung bei Arbeitstemperatur oberhalb von 800 C möglich
  • Pilotflamme am Rohrauslass
  • Wasserstoffeinleitung unterhalb von 800 C nicht möglich, verriegelt
  • Verfügbar für Modellreihe RS
• Erweiterung des Begasungssystems um weitere, nicht brennbare Gasarten
• Flaschendruckminderer für Begasung über Gasflaschen
• Kühlstation für geschlossenen Kühlwasserkreislauf
• Vakuumpakete (bei Wasserstoffbetrieb nur zur Vorevakuierung nutzbar)
• SPS Regelung (Serie bei Begasungspaket 4)
• Begasung über programmabhängig steuerbare Mass-Flow-Controller (nur bei SPS-Steuerung)

Je nach Enddruck stehen unterschiedliche Pumpen zur Verfügung

• Einstufige Drehschieberpumpe für einen erreichbaren Enddruck von ca. 20 mbar.
• Zweistufige Drehschieberpumpe für einen erreichbaren Enddruck von ca. 10-2 mbar.
• Pumpstand PT70 Dry (Membranpumpe mit nachgeschalteter Turbomolekularpumpe) für einen erreichbaren Enddruck bis 10-5 mbar.

Zum Schutz der Vakuumpumpe ist nur die Kaltevakuierung zulässig. Die Festigkeitsabnahme des Arbeitsrohres bei hohen Temperaturen begrenzt die maximale Einsatztemperatur unter Vakuum

Je nach Anwendung und Temperatur stehen unterschiedliche Arbeitsrohre zur Verfügung. Die technischen Spezifikationen der verschiedenen Arbeitsrohre entnehmen Sie bitte der folgenden Tabelle: