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클린룸 솔루션

클린룸 솔루션

공기순환필터가 장착된 클린 룸의 생산 퍼니스로 설계된 KTR 8000 클린룸 내 장입도어와 그레이룸에 설치하기 위한 장입프레임을 갖춘 고온벽 레토르트로 NRA 1700/06

클린룸에서 장입하는 고온퍼니스, 스위칭 시스템 및 퍼니스는 그레이룸에 위치

클린룸 버전의 공기순환 챔버퍼니스 NAC 250/45

클린룸 애플리케이션은 선택한 퍼니스 설계에 대해 높은 수준의 요건을 부과 합니다. 완전한 퍼니스를 클린룸에서 작동하는 경우 클린룸 공기가 오염되면 안 됩니다. 특히 입자오염을 최소화해야 합니다.

요구되는 퍼니스 기술은 각 애플리케이션에 따라 달라집니다. 대부분의 경우 공기순환퍼니스는 저온에서 필수 온도균일성을 보장하는 데 필요합니다. 고온 의 경우에도 Nabertherm은 복사열을 전달하는 여러 가지 퍼니스를 제공하고 있습니다.

클린룸 내 퍼니스 설치

소형 퍼니스를 클린룸에 배치할 때 퍼니스 챔버뿐만 아니라 퍼니스 하우징, 컨트롤에서도 가능한 한 유해물질을 방출하지 않아야 합니다. 표면은 세척이 용이해야 하며 퍼니스 챔버는 뒤쪽의 단열재에 밀폐되어 있어야 합니다. 필요한 경우 청정 공기 필터나 퍼 니스 공기순환 필터 등과 같은 추가 장비로 청정도 등급을 개선할 수있습니다. 클린룸 밖에 퍼니스 컨트롤 과 개폐장치를 설치하길 권장합니다.

그레이룸에 퍼니스 설치, 클린룸에서 퍼니스 장입

청정 조건에 맞추는 최적의 방법은 그레이룸에 퍼니스를 설치하고 클린룸에서 장입하는 것입니다. 클린룸 에 설치하면 비용이 많이 들기 때문에 이 방법으로 비용을 최소화할 수 있습니다. 클린룸에 위치한 앞면과 퍼니스 내부 챔버는 세척이 용이하도록 설계되어 있습니다. 이러한 환경 설정으로 클린룸 등급을 최고로 끌어올릴 수 있습니다.

그레이룸과 클린룸 사이의 슬루스퍼니스

그레이룸과 클린룸 사이의 운반은 종종 간단한 방법으로 처리할 수 있습니다. 슬루스퍼니스의 한쪽 도어는 그레이룸에, 또다른 도어는 클린룸에 배치하면 됩니다. 이때 내부 챔버와 클린룸 쪽에서 보이는 퍼니스 앞 면은 특별히 입자오염을 최소화하도록 설계되었습니다.

클린룸 조건에서 열처리 솔루션이 필요한 경우에는 문의해 주시기 바랍니다. 필요한 요건에 적합한 퍼니스 모델을 권해드리겠습니다.